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“钟总，想不到你们这么快就把这种氟化氩光刻机需要的镜片研制出来了。”
张京汝此时一脸震惊地对钟保国说道。
“其实国内中科院多年之前研发出了适合深紫外光的波段频谱的光电晶体材料，只不过一直没能走出实验室，我们将这方面的技术专利买了过来重新进行了改进研发，总算是研发出了出了能够匹配120纳米波长激光光源的镜片镀膜材料和镀膜工艺技术。”
钟保国开口说道。
“120纳米波长的激光光源？”
张京汝更加吃惊：“我只听说康尼精机那边研制出了157纳米的光刻机光源系统，没想到我们自己竟然研发出了更短波长的激光光源系统和镜头组！”
他当然知道光刻机光源能够使用的波长做得越小越好，不过这其中的技术难度是极大的，从激光光源系统里面挑选出需要特定波长频谱光源的光栅系统并且能够承受大功率激光光源照射且不受损伤就已经极为困难了，匹配这种光源系统的镜头组要重新进行设计，并且镜片表面抛光精度要达到极高的水平，镀膜材料的镀膜工艺技术难度之大也是超乎想象。
不过现在集团公司这边硬是攻克了下来！
“这个还是要感谢中科院在激光晶体材料上面的巨大贡献，不客气的说，国内在激光晶体材料上的基础理论研究和制备工艺技术上是世界领先的。”
周晓东笑着说道：“我们集团公司在这个上面是占了大便宜的，要是没有国内在这个技术领域数十年的技术积累，我们的研发进展也不会这么快。”
玄思科技公司现在集中了国内至少一少半以上光电激光技术方面的技术大拿，从事着从光电晶体材料到光电器件设计加工到光电产品终端方面的研制工作，并且还在不断地招募国内外技术研发人才。
另外玄思科技公司这边招募到了像李一凡教授这样从事磁流变和等离子抛光这些超高精密加工设备的技术研发团队。
并且周晓东在这些上面投入的研发经费那是一年比一年高，再加上旗下的技术研发团队非常拼命，没日没夜地进行高强度的技术攻关，在不到三年的时间里面终于是攻克了这种120纳米波长激光光源系统和配套的镜片产品。
“周先生，我们争取在今年上半年将光刻机需要的镜头组系统完成总装生产工作。”
钟保国向周晓东说道。
周晓东点点头，按照这个进度，今年这种120纳米激光光源沉浸式光刻机设备原型机还是能搞出来的。
“周先生，看样子智芯科技公司这边也要围绕着这种光刻机设备启动光刻工艺技术方面的研发工作了。”
张京汝此时兴奋地说道。
周晓东开口说道：“我们自身研制的这种激光光源系统破坏力比目前那种193纳米光源系统要大得多，现有的掩膜光罩是没办法给掩膜提供足够的保护，这方面要重新进行设计开发。”
他顿了顿说道：“另外国外的产商也没有这种适合120纳米激光光源的光刻胶产品，我们只能是自己研发了，还不知道要用几年时间才能开发出来。”
周晓东旗下技术团队研发的这种120纳米光源光刻机产品可以说是独一无二的，现有的一众半导体材料和设备供应商根本没有成熟的产品，人家愿不愿投入资源为这样的设备开发配套产品还得两说，只能是自己牵头从事这方面的研发工作。
幸好周晓东旗下集团公司研制的光刻机设备还能继续支撑自身的制程工艺技术继续提升到90纳米甚至到65纳米的样子，可以支撑六七年的样子，如果想想办法，再多撑个几年也是可以的。
有这个机会窗口期足够让自身的这套120纳米光刻机设备和配套的材料产品技术成熟了。
想到这里，周晓东心中那是颇为高兴的。
因为这是在周晓东旗下集团公司在完全得不到任何半导体设备产商和材料产商产品设备的技术支持最糟糕的情况。
通过他向中央方面的建议，目前国内集中精力来扶植力晶科技集团和华科电子科技公司以及金山晶圆厂建设投资的晶圆厂生产线，主要是以八英寸晶圆生产线为主，对于国外芯片产商进入国内投资建设晶圆厂项目卡得非常严。
目前力晶科技集团和华科电子科技公司以及金山晶圆厂数家晶圆厂制程工艺技术都是同出一源，尤其在前道光刻工艺环节目前已经是全部换成了这种沉浸式光刻机，这方面国外多家光刻机产商已经是插不进来了。
现在玄思科技公司这边在120纳米光源光刻机关键系统上又取得了巨大的突破，这让周晓东欣喜若狂。
“等我们这套镜头组装置出来后就召开一次新闻发布会，隆重地向外界进行展示，让我们给国家长长脸。”
周晓东笑着说道。
钟保国和张京汝看到周晓东无比开心的样子，都是笑了起来。
当初周晓东旗下公司研制光刻机设备的时候并不被外界看好，国内媒体甚至是大肆嘲讽，认为周晓东是不自量力，国内的投资机构对于这种对这种扔进去几十个亿可能连个响都听不到的行业是一点兴趣也没有。
周晓东拼命想办法赚钱，从赚回来的资金里面抽出一部分砸进这些技术研发当中，这些年在光刻机设备的研制上那是砸进去了数十亿的真金白银，现在星环科技公司公司研制的光刻机设备已经是成了国内光刻机市场的巨头。
当然，周晓东旗下集团公司在光刻机设备上的技术研发投入获得的技术专利和各种超高精密制造工艺技术和产品设备让旗下集团公司所有的公司都是跟着享受到了这些技术红利，现在正源源不断地获得收益。
之前由于受到西方国家的技术管制协议，周晓东旗下的集团公司很难从国外进口用于生产高端光刻机的部件，周晓东咬着牙硬是下了血本自己研制这些光刻机设备的关键系统部件，现在已经是开始收获起丰硕的果实了。
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